升華器
鈦升華器采用CF35法蘭安裝方式,同時(shí)可安裝3根發(fā)卡鈦鉬絲;鈦升華器可直接與真空系統(tǒng)通過(guò)法蘭連接,也可以與吸附阱復(fù)合使用(吸附阱通用接口為CF150法蘭)。
鈦升華器標(biāo)準(zhǔn)深入長(zhǎng)度
升華絲 |
ф2mm TiMo(3根) |
工作真空度 |
10-1~10-10Pa |
工作溫度 |
-196~250℃ |
烘烤溫度 |
≤300℃ |
安裝法蘭 |
CF 35(70mm OD) |
最大工作電流 |
52 A |
初始升華電流 |
48 A |
|
|
升華器抽氣速率取決于鈦升華速率、吸氣面積、吸氣位置溫度和系統(tǒng)流導(dǎo)等因素;當(dāng)真空度高于10-4Pa時(shí),抽氣速率完全取決于鈦升華速率;在更好的真空環(huán)境下,其他因素更加重要;鈦升華器對(duì)氫氣、水、一氧化碳、氮?dú)?、氧氣等其他具有可觀抽速,對(duì)惰性、甲烷等氣體無(wú)抽速。
具體抽速如下:
氣體 |
抽速(ls-1 cm-2) |
|
20℃ |
-196℃ |
|
H2 |
3 |
10 |
H2O |
3 |
14 |
CO |
9 |
11 |
N2 |
4 |
20 |
O2 |
2 |
6 |
CO2 |
8 |
9 |

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