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升華器

升華器

鈦升華器采用CF35法蘭安裝方式,同時(shí)可安裝3根發(fā)卡鈦鉬絲;鈦升華器可直接與真空系統(tǒng)通過(guò)法蘭連接,也可以與吸附阱復(fù)合使用(吸附阱通用接口為CF150法蘭)。鈦升華器標(biāo)準(zhǔn)深入長(zhǎng)度升華絲ф2mmTiMo(3根)工作真空度10-1~10-10Pa工作溫度-196~250℃烘烤溫度≤300℃安裝法蘭CF35(70mmOD)最大工作電流52A初始升華電流48A???升華器抽氣速率取決于鈦升華速率、吸氣面積、吸氣位置溫度和系統(tǒng)流導(dǎo)等因素;當(dāng)真空度高于10-4Pa時(shí),抽氣速率完全取決于鈦升華速率;在更好的真空環(huán)境下,其他因素更加重要;鈦升華器對(duì)氫氣、水、一氧化碳、氮?dú)?、氧氣等其他具有可觀抽速,對(duì)惰性、甲烷等氣體無(wú)抽速。具體抽速如下:氣體抽速(ls-1cm-2)20℃-196℃H2310H2O314CO911N2420O226CO289
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產(chǎn)品編號(hào)
所屬分類(lèi)
升華器
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產(chǎn)品描述
參數(shù)

鈦升華器采用CF35法蘭安裝方式,同時(shí)可安裝3根發(fā)卡鈦鉬絲;鈦升華器可直接與真空系統(tǒng)通過(guò)法蘭連接,也可以與吸附阱復(fù)合使用(吸附阱通用接口為CF150法蘭)。

鈦升華器標(biāo)準(zhǔn)深入長(zhǎng)度

升華絲

ф2mm TiMo(3根)

工作真空度

10-1~10-10Pa

工作溫度

-196~250℃

烘烤溫度

≤300℃

安裝法蘭

CF 35(70mm OD)

最大工作電流

52 A

初始升華電流

48 A

 

 

 

升華器抽氣速率取決于鈦升華速率、吸氣面積、吸氣位置溫度和系統(tǒng)流導(dǎo)等因素;當(dāng)真空度高于10-4Pa時(shí),抽氣速率完全取決于鈦升華速率;在更好的真空環(huán)境下,其他因素更加重要;鈦升華器對(duì)氫氣、水、一氧化碳、氮?dú)?、氧氣等其他具有可觀抽速,對(duì)惰性、甲烷等氣體無(wú)抽速。

具體抽速如下:

氣體

抽速(ls-1 cm-2)

20℃

-196℃

H2

3

10

H2O

3

14

CO

9

11

N2

4

20

O2

2

6

CO2

8

9

 

 

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