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公司簡(jiǎn)介

中國科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司

SKY TECHNOLOGY DEVELOPMENT CO.,LTD. CHINESE ACADEMY OF SCIENCES

  中國科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng) “公司”)創(chuàng )建于1958年,公司總部位于遼寧省沈陽(yáng)市渾南區,占地面積110畝,建筑面積3.5萬(wàn)平方米。多年來(lái),公司專(zhuān)注于高真空、超高真空、超潔凈真空技術(shù)的研究和發(fā)展,是我國集成電路裝備和真空儀器設備的研制、生產(chǎn)基地,先后組建“國家分子束外延技術(shù)開(kāi)發(fā)實(shí)驗基地”、“國家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心”和“真空技術(shù)裝備國家工程研究中心” 等科研平臺。

產(chǎn)品優(yōu)勢

創(chuàng )建于1958年

產(chǎn)品優(yōu)勢

為2000多個(gè)客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品和服務(wù)

產(chǎn)品優(yōu)勢

建筑面積3.5萬(wàn)平方米

  公司主要從事干式真空泵、真空儀器設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售,并提供相關(guān)技術(shù)服務(wù)。公司產(chǎn)品主要包括系列羅茨干泵、系列渦旋干泵、大科學(xué)裝置、真空薄膜儀器設備和新材料制備設備等。公司承擔了國家“863計劃”、 “02專(zhuān)項”、 “國家重點(diǎn)研發(fā)計劃”等國家級科技專(zhuān)項,并通過(guò)自主研發(fā)創(chuàng )新實(shí)現了國產(chǎn)干式真空泵在集成電路領(lǐng)域的批量應用,打破了歐美及日本企業(yè)對同類(lèi)產(chǎn)品的長(cháng)期壟斷,實(shí)現了關(guān)鍵裝備的進(jìn)口替代。公司長(cháng)期致力于高端科研儀器設備的研發(fā)制造,為我國重大科技基礎設施的建設發(fā)展做出貢獻。在真空鍍膜領(lǐng)域,公司研發(fā)形成了磁控濺射、離子束濺射、電子束蒸發(fā)、高溫真空無(wú)油潤滑、高性能高穩定性束源爐、復合鍍膜等多項技術(shù)。通過(guò)多年的研發(fā)創(chuàng )新,公司現已開(kāi)發(fā)完成第六代分子束外延設備。

  公司先后獲得國家科技進(jìn)步獎6項,中國科學(xué)院及省部級科技進(jìn)步獎20項,擁有專(zhuān)利71項,被認定為國家第二批專(zhuān)精特新“小巨人”企業(yè)、國家高新技術(shù)企業(yè)、國家知識產(chǎn)權優(yōu)勢企業(yè)、遼寧省技術(shù)創(chuàng )新示范企業(yè)、遼寧省創(chuàng )新型中小企業(yè)、遼寧省省級企業(yè)技術(shù)中心等。

  公司設立有2個(gè)全資子公司——上海上凱儀真空技術(shù)有限公司、中科儀(南通)半導體設備有限責任公司;1個(gè)分公司——中國科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司上海分公司。

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